آب فوق خالص ساز

آب فوق خالص (به انگلیسی: Ultrapure Water) به آبی گفته می‌شود که تا محدوده‌های غیرمتداولی برابر معیارهای خاصی خالص گردیده‌است.

^]از این آب معمولاً در صنایع ساخت نیمه‌هادی‌ها استفاده می‌شود. در این آب هدایت الکتریکی می‌تواند به کمی ۰٫۰۵۶ میکرو زیمنس برسد. غالباً در زمان بررسی آب فوق خالص به جای سنجش رسانش الکتریکی از مقاومت الکتریکی با واحد مُگااهم (که معکوس میکرو زیمنس است) استفاده می‌شود.

به این ترتیب مقاومت الکتریکی آب فوق خالصی با هدایت الکتریکی ۰٫۰۵۶ میکروزیمنس برابر ۱۸ مگا اهم است.

آب فوق خالص با آب دیونیزه شده که واژهٔ متداولی است تفاوت دارد. علاوه بر این‌که آب فوق خالص فاقد ذرات ارگانیک و گازهای محلول است. یک سیستم تهیهٔ آب فوق خالص شامل سه مرحله است: مرحلهٔ پیش تصفیه که تهیهٔ آب خالص است، یک مرحلهٔ اولیه برای خالص سازی بیشتر آب، و مرحلهٔ نهایی و پرهزینه‌ترین قسمت که تمیزکاری نهایی یا پولیش کاری آب می‌باشد.